中束流离子注入机
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中束流离子注入机

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  • 产品简介
  • 产品特点
  • 技术参数
  • 应用范围
  中束流离子注入机采用先分析后加速的双磁铁结构,具有平行束技术,采用间热式长寿命离子源,等离子淋浴,单片式静电吸附靶台,真空机械手传输,适用于4到6英寸分立器件及集成电路制造的0.16~0.1um工艺生产线,有良好的注入均匀性、重复性等;设备操作简单、可靠,自动化程度高。 详情1
  •   大束流、长寿命离子源;
      等梯度静电加/减速器实现宽范围能量注入;
      双向偏转扫描系统配合角度校正,实现宽束平行束注入;
      在线均匀性检测与实时校正控制,保证注入剂量均匀性与准确性。
  • 内容2
  •   离子源寿命:≥300h
      离子能量:5-900keV
      注入倾斜角度: 0~60 °±0.25°
      靶盘旋转定向调节范围:0~360° ±0.25°
      束平行性误差:±0.2°
      注片方式:单圆片注入
      注入剂量均匀性(1σ):≤0.5%
      注入剂量重复性(1σ):≤0.5%
      晶片尺寸:4″-6″
  • 参数
  •   用于4-6英寸分立器件及集成电路制造工艺中的掺杂注入。
  • 范围4
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