材料表面改性离子注入机
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  • 产品简介
  • 产品特点
  • 技术参数
  • 应用范围
  采用固态金属离子源,先分析后加速结构,水平偏转7°的双向电扫描,具备液氮冷却和灯管加热的高、低温多工位靶台,片夹式手动装卸片。可靠的安全联锁,计算机控制,自动运行,剂量实时监控。 详情1
  •   离子种类丰富,覆盖大部分金属离子
      注入工艺温度范围大,从液氮低温到高温可选
      多工位,一次装载可完成多种注入
      可靠性高,可长时间注入
  • 内容2
  •   注入元素:非金属:H+、N+、O+、Ar+、He+、Si+;
               金  属:Ni+、Zr+、Mo+、Fe+。
      基体材料:Al基、Ni基、Ti基合金及陶瓷等
      注入维度:三维
      注入温度:≤600℃
      注入面积:φ50mm、φ150mm
      注入层厚度:≤1μm
      注入均匀性:1σ≤3%
  • 参数
  •   材料的电学或者其他材料特性的改性
  • 范围4
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