• 1964/年

    第四十八研究所成立

    1978/年

    LC-1离子注入机等荣获多项全国科学大会奖

    1976/年

    GK系列扩散炉大规模供应市场

    1980/年

    LC系列离子注入机获第四机械部科技成果一等奖

  • 1982/年

    研制出离子束刻蚀机

    1984/年

    WW-1型微机控制液相外延炉、LK-2型离子束刻蚀机、DT-1型电子束退火设备获电子部科技进步一等奖

    1988/年

    LC系列离子注入机获第四机械部科技成果一等奖LC系列离子注入机获第四机械部科技成果一等奖

    1990/年

    研制出WGK-1型全自动扩散系统

    1992/年

    研制出21米全自动氮气氛保护推板窑并获国家新产品证书、机电部科技进步奖

    1995/年

    研制出强流离子注入机并获电子部科技进步一等奖;研制出LD-4型多离子束共溅射镀膜机并获电子部科技进步一等奖

    1983/年

    研制出国内实用化的DB-3型电子束曝光机

    1985/年

    FW-1型分子束外延设备、液态金属离子源获电子部科技进步一等奖

    1989/年

    研制出国内辊道推板式磁性材料烧结窑

    1991/年

    PECVD-425型多室连续淀积设备、硅分子束外延设备等多项设备获机电部科技攻关重大成果奖

    1994/年

    研制出发光二极管自动封装机并获电子部科技进步二等奖

  • 1996/年

    研制出国内双功能TEOS-CVD系统和国内首台36米氮窑;荣获全国CAD示范工程单位称号

    1998/年

    研制出国内用于8″工艺线的扩散氧化系统32+12米氮窑

    2000/年

    开发出用于高档磁性材料烧结用的大容量钟罩式气氛烧结炉

    2002/年

    全自动扩散系统、等离子刻蚀机、网带式烧结炉等批量装备国内太阳能电池(6″方片)生产线

    2004/年

    管式PECVD开始应用于太阳能行业生产线;钟罩式气氛烧结炉、44米全自动氮气氛保护单、双推板窑获中国电子科技集团公司科学技术二等奖;热壁式PECVD成功应用于具有国际先进水平的无锡尚德太阳能电池生产线;传感器新产品通过鉴定达国际先进水平

    2006/年

    100nm 8″大角度离子注入机成功应用于中芯国际IC生产线;高效节能的新型氮气氛保护推板窑产销两旺;等离子体刻蚀机走出国门销往新加坡;高低温炉/Ⅲ型PECVD/闭管扩散炉研发成功并批量投放市场;北京25MW太阳能电池生产线建成投产

    2008/年

    特种传感器首次成功应用于我国载人航天工程;太阳能光伏装备具备整线"交钥匙工程"能力;拉晶、铸锭、切片、电池片、组件封装与应用、太阳能光伏电站完整产业链建成;湖南一期100MW太阳能电池生产线竣工投产、二期100MW太阳能电池生产线完成建设

    2010/年

    1000MW完整晶体硅太阳能光伏产业链建成投产;5000吨新型储能材料产业链建成投产

    1997/年

    研制出28米全自动氮气氛保护推板窑获电子部科技进步二等奖

    1999/年

    研制出国家"863"计划光电子领域关键设备--全自动GaP液相外延系统并获国家重点新产品证书,成功应用于LED大生产线

    2001/年

    自行开发的钟罩式气氛烧结炉、全自动单推板窑出口到法国、伊朗等地

    2003/年

    集成电路科技攻关项目电子束曝光机、大束流离子注入机、LPCVD、四管全自动扩散系统通过验收,成功应用于国内IC生产线

    2005/年

    扩散/氧化系统成功进入香港市场;GaN基MOCVD设备研发成功;第二代太阳能专用扩散炉、等离子体刻蚀机、PECVD、烘干/烧结炉大批量供应市场

    2007/年

    湖南50MW太阳能电池生产线竣工投产;硅材料加工用单晶炉、铸锭炉研发成功并批量投放市场

    2009/年

    90-65纳米12″大角度中束流离子注入机推向市场;丝网印刷/检测分选设备研发成功并推向市场

  • 2011/年

    暂无资料...

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